用于光束操控的具有多个转换器之声光偏转器

摘要

明描述具有多个声转换器之声光偏转器，其适合用于基体处理中。在一个实例中，一方法包括使一光射束发射穿过一声光偏转器、跨该声光偏转器之多个转换器施加具有一相位延迟之一声音信号以藉由该声光偏转器使该射束沿着一第一轴线偏转，以及将该偏转的射束引导至一工件上。

主权项

一种方法，其包含：将一光射束发射穿过一声光偏转器；跨该声光偏转器之多个转换器施加具有一相位延迟之一声音信号以藉由该声光偏转器使该射束沿着一第一轴线偏转；以及将经偏转的该射束引导至一工件上。