发明名称 成膜遮罩、成膜遮罩之制造方法及触控面板之制造方法
摘要 明具备有:片状之遮蔽构件2,系对应于在被成膜基板8上所形成之薄膜图案而具有开口部5;以及筛网3,和该遮蔽构件2之一面2b之间设有间隙而以该开口部5之侧壁5a部分被支撑于该遮蔽构件2,于该开口部5内具有复数格子点6。
申请公布号 TW201602374 申请公布日期 2016.01.16
申请号 TW104112798 申请日期 2015.04.22
申请人 V科技股份有限公司 发明人 水村通伸
分类号 C23C14/04(2006.01);G06F3/041(2006.01) 主分类号 C23C14/04(2006.01)
代理机构 代理人 林秋琴;陈彦希
主权项 一种成膜遮罩,具备有:片状之遮蔽构件,系对应于在被成膜基板上所形成之薄膜图案而具有开口部;以及筛网,和该遮蔽构件之一面之间设有间隙而以该开口部之侧壁部分被支撑于该遮蔽构件,于该开口部内具有复数格子点。
地址 日本