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<p>본 발명은 광 출력제어 기능을 구비한 LED 노광 장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 다수의 LED 모듈을 포함하는 LED 광원부; 상기 다수의 LED 모듈로부터 입사되는 광의 균일도를 개선하여 출사시키는 렌즈부; 상기 렌즈부를 통과한 광을 스테이지를 향해 반사하도록 설치되는 미러부; 상용 전원부로부터 공급된 AC 전원을 상기 다수 LED 모듈이 작동할 수 있도록 DC 전원으로 변환하여 공급하는 파워 서플라이부; 및 각 LED 모듈에서 조사되는 광의 세기를 측정하고, 측정된 광 세기와 기준값을 비교하여 광 출력이 저하된 것으로 판단되면 상기 파워 서플라이부의 제어를 통하여 LED 모듈에 공급되는 전류를 조절하는 광 출력 조절부;를 포함하는 광 출력제어 기능을 구비한 LED 노광 장치 및 그 제어방법이 제공된다.</p> |
