发明名称 Werkstück-Poliergerät
摘要 Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Werkstück-Poliergerät, umfassend ein Polierpolster zum Polieren des Werkstücks, einen Poliermittel-Zufuhrmechanismus zum Zuführen von Poliermittel und einen Polierkopfes zum Aufnehmen des Werkstücks auf derartige Weise, dass eine Rückfläche des Werkstücks von einem Stützpolster und eine Kante des Werkstücks von einer ringförmigen Schablone gehalten werden. Dieses Gerät poliert das Werkstück, indem es das Werkstück und die Schablone gegen das Polierpolster drückt und dadurch das Werkstück in Schleifkontakt mit dem Polierpolster bringt. Die Schablone besteht aus einem harzhaltigen Füller oder Gewebe und hat feine Vertiefungen, die von dem Füller oder Gewebe auf der Oberfläche auf der Seite geschaffen werden, die das Polierpolster andrückt. Dieses Gerät kann die Polierrate des äußeren umlaufenden Teils des Werkstücks stabilisieren und dadurch das Werkstück zu einem sehr planen Werkstück polieren.
申请公布号 DE112014002107(T5) 申请公布日期 2016.01.14
申请号 DE20141102107T 申请日期 2014.04.10
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 HASHIMOTO, HIROMASA;SASAKI, MASANAO
分类号 B24B37/32;H01L21/304 主分类号 B24B37/32
代理机构 代理人
主权项
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