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Hierin wird ein Element beschrieben, das die Handhabung von Halbleiterobjekt mit beliebigen Formen und Größen durch Handhabungsgeräte erleichtert, die normalerweise nicht zur Handhabung solcher Objekte angepasst sind. Das Element umfasst eine Basis, die ein Substrat emuliert, für das ein Handhabungsgerät verfügbar ist. Eine Befestigungseinrichtung an der Basis sichert das Objekt am Element. Eine Vakuumstruktur erlaubt es einem Vakuum-Spannsystem, das Element und ein Objekt an dem Handhabungsgerät gleichzeitig zu befestigen. |
