パターニングされた導電基材の製造方法、これによってパターニングされた導電基材およびタッチパネル

摘要

少なくとも基材、無機酸化物層および導電層がこの順に形成された導電基材の最表層の一部にレジスト層を形成する工程と、前記導電基材をフッ化物イオンを含む水溶液に接触させ、レジストが形成されていない部分において前記導電層を前記無機酸化物層と共に除去することにより前記導電層をパターニングする工程を含むパターニングされた導電基材の製造方法。導電膜をパターニングする新規な方法であって、取り扱い性に優れ、既存の設備が適用可能である方法を提供する。