レーザによる低温気密封止

摘要

接合された製品の低温レーザシールのための方法及び装置が開示される。封止されたガラス基板内に収容された基板及び／又は任意の部品の間で形成された環境下で、ガラス基板のバルク強度に悪影響を及ぼさない低温封止技術を用いたガラス基板の気密封止が開示される。このような低温封止技術は、封止される製品全体の加熱ステップを含まずに、ガラス基板の間の気密封止を形成するためにシール材の局部的レーザ加熱ステップの使用を含む。