发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Rauheit und/oder eines Profils einer Oberfläche eines Messobjekts
摘要 <p>Vorrichtung zur Erfassung einer Rauheit und/oder eines Profils einer Oberfläche (2) eines Messobjekts, umfassend einen statischen Teil (3), einen beweglichen Teil, mindestens eine Führungseinrichtung (10) zur Führung einer Linearbewegung des beweglichen Teils und eine Einrichtung zur Erzeugung einer Antriebsenergie zum Antrieb des beweglichen Teils, wobei zumindest ein Teil mindestens eines Tastersystems zur Erfassung der Rauheit und/oder des Profils an dem beweglichen Teil angeordnet ist, wobei über mindestens ein Energieübertragungsmittel die Antriebsenergie auf das bewegliche Teil übertragbar ist, wobei das mindestens eine Energieübertragungsmittel ein mechanisches Energieübertragungsmittel ist, wobei das mechanisches Energieübertragungsmittel derart ausgebildet ist, dass während einer Energieübertragung auf das bewegliche Teil zumindest in eine von der gewünschten Bewegungsrichtung verschiedene Richtung keine Kraft auf das bewegliche Teil wirkt, wobei das mindestens eine Energieübertragungsmittel als mechanisches Kraftübertragungsmittel ausgebildet ist, wobei eine Kraft über einen einzigen Kontaktpunkt zwischen einem antriebseinrichtungsseitigen Kontaktelement (8) und einem Kontaktelement (12) des beweglichen Teils übertragen wird, dadurch gekennzeichnet, dass das antriebseinrichtungsseitige Kontaktelement (8) eine abgerundete Kontaktfläche und/oder das Kontaktelement (12) des beweglichen Teils eine abgerundete Kontaktfläche aufweist, wobei die Kontaktflächen sich in dem Kontaktpunkt zur Kraftübertragung berühren.</p>
申请公布号 DE102014201417(B4) 申请公布日期 2016.01.14
申请号 DE201410201417 申请日期 2014.01.27
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 ENGEL, THOMAS
分类号 G01B5/28;G01B5/008;G01B11/03;G01B11/24;G01B21/20;G01B21/30 主分类号 G01B5/28
代理机构 代理人
主权项
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