摘要 |
Suszeptor für den Prozessraum einer Schutzgas- und Vakuum-Hochtemperatur Prozessanlage mit einem Kreissegment (2) größer als 180° als Körper eines Tunnels und mit einem das Kreissegment (2) zu einem geschlossenen Querschnitt ergänzenden Bodenelement (3, 7), wobei der Tunnel aus mindestens zwei an ihren Stirnflächen aneinander gelagerten, jeweils aus einem Kreissegment (2) und einem Bodenelement (3, 7) bestehenden Modulen zusammengesetzt ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein endseitiges Modul als monolithischer Körper (1) mit einem in sich geschlossenen, aus einem Kreissegment (2) und einer Bodenfläche (3) bestehenden Querschnitt ausgebildet ist. |