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Eine Filmausbildungsvorrichtung weist eine zylindrische Verdampfungsquelle (1), Schließbauteile (2A, 2B) und eine Hilfselektrode (3) auf. Die zylindrische Verdampfungsquelle (1) ist gestaltet, um ein Werkstück (W) in einem Innenraum der Verdampfungsquelle (1) unterzubringen. Die zylindrische Verdampfungsquelle (1) ist gestaltet, um Ionen von der zylindrischen Verdampfungsquelle (1) durch eine Lichtbogenentladung derart abzugeben, dass die Ionen an einer Oberfläche des Werkstücks (W) angelagert werden. Die Schließbauteile (2A, 2B) schließen den Innenraum. Die Hilfselektrode (3) ist entlang einer Innenwandfläche der zylindrischen Verdampfungsquelle (1) angeordnet. Die Hilfselektrode (3) ist gestaltet, um geerdet zu sein oder um mit einer positiven Spannung versehen zu sein, sodass Elektronen des Innenraums zu der Hilfselektrode (3) strömen. |
