| 摘要 |
본 발명은 반도체 소자 및 디스플레이 소자 제작 시 저온에서도 박막 증착 공정이 가능한 액상 전구체 공급장치에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 초음파 진동을 이용하여 내부에 저장된 액상 전구체를 에어로졸 상태로 변환시키는 에어로졸 생성기; 상기 에어로졸 생성기로부터 전달된 에어로졸 상태의 전구체가 충돌하여 열에너지를 얻어 기체 상태로 변화되도록 내부에 복수 개의 판형 히터들이 지그재그로 교차 되게 배치된 히터 블록이 설치된 기화기; 및 상기 기화기에 의해 기체 상태로 변환된 전구체를 일정한 압력 및 온도로 저장하고, 박막 증착 공정 시 상기 기체 상태의 전구체를 챔버로 공급하는 전구체 저장수단을 포함한다. |
