| 发明名称 |
STRAHLUNGSDETEKTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STRAHLUNGSDETEKTORS |
| 摘要 |
<p>Es wird ein Strahlungsdetektor mit einem Substrat und einer Membran, die über Abstandshalter oberhalb des Substrats aufgehängt ist beschrieben, wobei die Abstandshalter einen in der Membran gebildeten Strahlungssensor elektrisch kontaktieren sowie die Membran gegenüber dem Substrat thermisch isolieren.</p> |
| 申请公布号 |
DE102014213369(A1) |
申请公布日期 |
2016.01.14 |
| 申请号 |
DE201410213369 |
申请日期 |
2014.07.09 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
WEILER, DIRK;MUCKENSTURM, KAI-MARCEL;HOCHSCHULZ, FRANK |
| 分类号 |
H01L31/101;G01J5/20 |
主分类号 |
H01L31/101 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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