| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 임베디드 트레이스 기판의 범프 형성 방법은, 캐리어에 범프 영역으로 정의될 범프용 금속 패드 패턴을 형성하는 과정과, 상기 범프용 금속 패턴 상에 비아를 갖는 유전체막과 상기 비아를 통해 상기 범프용 금속 패턴에 연결되는 금속 패턴을 각각 형성한 후 상기 캐리어로부터 박리시킴으로써, 임베디드 트레이스 기판을 제작하는 과정과, 상기 범프용 금속 패턴 상에 상기 범프 패드 영역을 정의하는 패턴의 감광성 마스크를 형성하는 과정과, 상기 감광성 마스크를 식각 장벽층으로 하는 식각 공정을 진행함으로써, 상부가 노출된 상기 범프용 금속 패턴을 식각하여 상기 범프 패드 영역 이외에 있는 상기 유전체막의 상부를 노출시키는 과정과, 잔류하는 상기 감광성 마스크를 제거함으로써, 상기 유전체막으로부터 소정 높이만큼 돌출된 형상을 갖는 범프 패드를 형성하는 과정을 포함할 수 있다.</p> |
