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Die Erfindung betrifft einen Schwallkasten (11, 21, 31) für ein nasschemisches Arbeitsverfahren mit einer Auslaufkammer (2, 32, 52) zur Aufnahme eines Aufnahmevolumens eines nasschemischen Mediums (7) und zur Abgabe des nasschemischen Mediums (7) durch Austrittsöffnungen (4) im Bodenbereich (5) der Auslaufkammer (2, 32, 52), wobei die Auslaufkammer (2, 32, 52) das Aufnahmevolumen durch den Bodenbereich (5) und an den Bodenbereich (5) angrenzende Seitenwandbereiche (6, 16, 56) ausbildet. Angrenzend an mindestens einen der Seitenwandbereiche (6, 16, 56) der Auslaufkammer (2, 32, 52) ist eine Einlaufkammer (12, 22, 42) mit einem Grenzwandbereich (14, 24, 44) derart angeordnet, dass sich bei einem Befüllen der Einlaufkammer (12, 22, 42) mit dem nasschemischen Medium (7) zunächst die Einlaufkammer (12) bis zu einem Überlaufpegel füllt, bevor das nasschemische Medium (7) aus der Einlaufkammer (12) über den Grenzwandbereich (14) hinweg und/oder durch Grenzöffnungen (28, 48) im Grenzwandbereich (24, 44) hindurch in die benachbarte Auslaufkammer (2, 32, 52) fließt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein nasschemisches in-line-Verfahren zur Bearbeitung von Halbleiterwafern mit dem Schwallkasten (11, 21, 31). |
