| 摘要 |
ガスに対して低圧状態に維持されたエンクロージャ内のガス流を推定するための方法は、 ‐ エンクロージャ内のガス流Ｊｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔを時間の関数として測定するステップと、Ｊｅｓｔｉｍ（ｔ）とＪｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔとの間の差に基づいた推定誤差を減らすことによって、パラメータＡ及びＢの値を反復的に推定するステップとを含み、Ｊｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔがエンクロージャ内のガスの圧力上昇に対応する場合には、Ｊｅｓｔｉｍ（ｔ）が第一の式に従って計算され、Ｊｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔがエンクロージャ内のガスの圧力低下に対応する場合には、Ｊｅｓｔｉｍ（ｔ）が第二の式に従って計算される。 |
