| 摘要 |
Verfahren zur optomechanischen Erfassung und Wandlung eines mechanischen, elektrostatischen, magnetostatischen oder elektrodynamischen Eingangssignales in amplitudenmodulierte elektromagnetische Strahlungs-Ausgangssignale und daraus strahlungssensorisch gebildete elektrische Ausgangssignale mithilfe einer optomechanisch gebildeten Übertragungsfunktion sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens. Die vorgestellte Erfindung betrifft ein Verfahren zur opto-mikromechanischen WegErfassung, zur Signal-Umformung und Veränderung sowie Wandler, die nach diesem Verfahren arbeiten. Dazu dient ein - relativ zur Umgebung und relativ zu definierten Licht- bzw. Strahlungszonen - bewegliches, dünnes flächiges Blendenelement. Mit besonders geformten Durchlässen lässt dieses in Abhängigkeit von der Position mehr oder weniger Licht oder vergleichbare elektromagnetische Strahlung durch. Der Strahlungsanteil (der Lichtstrom), der durch die Durchlässe gelangt, bildet eine Funktion die von der Relativposition bzw. der Relativwinkellage des Blendenelementes zu den Strahlungszonen abhängt. Ein Photo- oder Strahlungsdetektor kann den auftreffenden Strahlungsfluss in elektrische Signale umwandeln. Die gemessenen Größen können Wege oder Winkel, Beschleunigungen, Kräfte, elektrisch oder magnetisch bedingte Bewegungen oder Druck sein. Elektrische oder magnetische Feldstärken, elektrische Spannungen oder Ströme die über aktive kapazitive oder induktive Stellglieder in Bewegungen umgeformt werden, können gemessen werden. |
