| 发明名称 | 适用于可扰曲材料的等离子清洗装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,包括：真空腔体，置于真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送可绕曲材料使得可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。本发明提供一种根据等离子体源结构设计的清洗装置，可以方便且高效的获得高密度等离子体，实现对可扰曲材料的高效且全面的清洗。 | ||
| 申请公布号 | CN105234130A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201510684849.X | 申请日期 | 2015.10.22 |
| 申请人 | 苏州求是真空电子有限公司 | 发明人 | 冯斌;金浩;王德苗;李东滨 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林 |
| 主权项 | 适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,其特征在于，包括：真空腔体，置于上述真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送上述可绕曲材料使得上述可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山玉山镇元丰路232号2号楼 | ||