银纳米球粒径大小连续可调的制备方法

摘要

本发明提供一种根据需要制备相应的粒径大小连续可调的银纳米球。本发明仅需要选择恰当的倾斜入射沉积的角度，就可获得粒径不同大小的银纳米球颗粒，并可以精确的控制粒径的大小，方便截取所需要的颗粒尺寸，操作简单，在拉曼增强，太阳能电池和红外波段的生物检测等领域有广泛的应用。而且工艺简单，通过倾斜加热沉积一次性获得不同大小的银纳米颗粒，银纳米颗粒形成的薄膜化学性能相对稳定且薄膜还具有高速、低温、低损伤、强附着力等特点。此外，在本发明的方法中，沉积技术不受特别限制，可以通过多种沉积技术实现。且基底材料也不受特别限制，扩展了应用的范围。

主权项

一种银纳米球粒径大小连续可调的制备方法，在室温下于真空室内进行，包括如下步骤：i)将清洗后的基片倾斜一定角度装在基底夹具上，并将活动挡板置于基底夹具与溅射靶之间；ii)将所述真空室抽真空，所述真空室的真空度达5×10^‑4Pa以上，再向所述真空室内通入工作气体，使所述真空室内的气压达到工作气压，所述工作气压为0.8Pa；iii)对所述基片加热，达到设定温度后入射金属银粒子；iv)待所述金属银粒子均匀入射后，旋转所述基底夹具，再移开活动挡板，所述金属银粒子在所述基片上进行沉积；v)入射一定时间后，将所述基片真空冷却至室温，即可得到粒径大小连续可调的银纳米球，其中，所述一定角度为5～85°，所述设定温度为50～400℃，所述一定时间为10min～30min。