一种掩膜提篮

摘要

本实用新型涉及一种掩膜提篮。在盒体内中部设有垂直于盒体后侧板的立板，立板从上到下间隔设有若干个向左凹的左凹槽，立板从上到下间隔设有若干个向右凹的右凹槽，左凹槽和右凹槽交错设置，在与每个左凹槽的开口正对应的盒体右侧板内侧面上设有右凸台，在与每个右凹槽的开口正对应的盒体左侧板内侧面上设有左凸台，在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干个第一漏孔，在盒体的左侧板、右侧板、后侧板上密布有若干个第二漏孔。本实用新型在充分利用盒体内空间的情况下，使用时增加了上下相邻两掩膜之间的距离，从而便于工人抽出掩膜，提高了工作效率，并且不易使污染物存储在左凸台、右凸台处，不会对晶片造成污染。

主权项

一种掩膜提篮，包括盒体，盒体的前侧面开口设置，在盒体的顶板外侧面上设有提手，其特征在于：在盒体内中部设有垂直于盒体后侧板的立板，立板从上到下间隔设有若干个向左凹的左凹槽，立板从上到下间隔设有若干个向右凹的右凹槽，左凹槽和右凹槽交错设置，在与每个左凹槽的开口正对应的盒体右侧板内侧面上设有右凸台，在与每个右凹槽的开口正对应的盒体左侧板内侧面上设有左凸台，在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干个第一漏孔，在盒体的左侧板、右侧板、后侧板上密布有若干个第二漏孔。