研磨垫及其制造方法

摘要

本发明的目的是提供在研磨对象物的表面难以产生刮痕、且修整性提高的研磨垫及其制造方法。本发明的研磨垫的特征在于具有无发泡聚氨酯形成的研磨层，所述无发泡聚氨酯是聚氨酯原料组合物的反应硬化物，所述聚氨酯原料组合物包含：将含有二异氰酸酯、高分子量多元醇、及低分子量多元醇的预聚物原料组合物反应而得的异氰酸酯封端的预聚物、通过3个以上的二异氰酸酯加成而多聚物化的异氰酸酯改性物、及链延长剂，所述异氰酸酯改性物的添加量相对于100重量份的异氰酸酯封端的预聚物为5重量份～30重量份。

主权项

研磨垫，其具有由无发泡聚氨酯形成的研磨层，其特征在于：所述无发泡聚氨酯是聚氨酯原料组合物的反应硬化物，所述聚氨酯原料组合物包含：将含有二异氰酸酯、高分子量多元醇、及低分子量多元醇的预聚物原料组合物反应而得的异氰酸酯封端的预聚物、通过3个以上的二异氰酸酯加成而多聚物化的异氰酸酯改性物、及链延长剂，所述异氰酸酯改性物的添加量相对于100重量份的异氰酸酯封端的预聚物为5重量份～30重量份，并且其中磨耗速率为2μm/min以上。