含辅助加料结构的单晶炉及其应用

摘要

本发明提供一种含有辅助加料结构的单晶炉及其应用，其特征在于该单晶硅生长炉内部装有辅助加料结构，该辅助加料结构带有独立的称重装置，可在辅助加料的同时，实时监控辅助原料的加入量，从而能实现单晶硅掺杂浓度的精确控制，有利于稳定单晶硅轴向电阻率，以及满足特殊掺杂需求单晶硅晶锭生长。

主权项

一种含辅助加料结构的单晶炉，其特征在于在上部热屏之上设有由气缸、导轨、称重传感器、称重传感器固定支座、辅料夹具、称重称重杠杆组成的辅助加料结构。