一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法。首先将纯度为99.99%钨粉、纯度为99.9%镍粉，W粉和Ni粉装入高能球磨机充高纯Ar₂并以200-250r/min速度混合得到含钨镍合金粉；再使用冷等静压成形，加压制备得到钨镍坯体；将所得钨镍坯料装入真空烧结炉进行烧结；关闭真空烧结炉加热系统，随炉冷却至室温后方可出炉，得到总纯度＞99.9%、含镍质量比10%-50%的变色玻璃钨镍合金靶材。本发明环保，方法简单，能制备出组织均匀、高密度、高纯度的玻璃钨镍合金靶材。

主权项

一种电致变色玻璃钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于,包括如下步骤：a．将纯度为99.99%钨粉、纯度为99.9%镍粉，W粉和Ni粉装入高能球磨机充高纯Ar₂并以200‑250r/min速度混合得到含钨镍合金粉；b．将混合好的钨镍合金粉末使用冷等静压成形，加压制备得到钨镍坯体； c.将所得钨镍坯料装入真空烧结炉进行烧结；d．关闭真空烧结炉加热系统，随炉冷却至室温后方可出炉，得到含镍质量比10%‑50%的变色玻璃钨镍合金靶材。