| 发明名称 | 一种对准光栅组及其光栅的制作方法 | ||
| 摘要 | 本申请提供了一种对准光栅组，包括：设置于模板上的第一光栅和设置于晶圆上的第二光栅，所述第一光栅与所述第二光栅相对设置；所述第一光栅的光栅底部覆盖折射层，所述折射层的折射率大于1.5。提高了所述光栅组的衍射效率，增大所述第一光栅和所述第二光栅对准时产生的莫尔条纹的对比度，从而易于判断对准光栅的对准程度，提高了所述对准光栅组的对准精度。 | ||
| 申请公布号 | CN105242502A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201510799756.1 | 申请日期 | 2015.11.18 |
| 申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 王亮;秦金;丁立 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
| 主权项 | 一种对准光栅组，其特征在于，包括：设置于模板上的第一光栅和设置于晶圆上的第二光栅，所述第一光栅与所述第二光栅相对设置；所述第一光栅的光栅底部覆盖折射层，所述折射层的折射率大于1.5。 | ||
| 地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 | ||