发明名称 |
用于宽禁带半导体的氧化铝-氧化镓混晶材料 |
摘要 |
一种用于宽禁带半导体的氧化铝-氧化镓混晶材料,结构式为Ga<sub>2-2x</sub>Al<sub>2x</sub>O<sub>3</sub>,其中氧化铝掺杂摩尔比x为0-50%,及其制备方法。本发明保持了原有的氧化镓晶体结构,形成混晶,晶体具有很高的光学质量,无开裂,散射颗粒,气泡等缺陷,颜色均匀;通过掺杂,晶体的紫外吸收截止边延伸到210-255nm,是一种非常优良的深紫外衬底材料。 |
申请公布号 |
CN105239162A |
申请公布日期 |
2016.01.13 |
申请号 |
CN201510524713.2 |
申请日期 |
2015.08.25 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
夏长泰;赛青林;肖海林 |
分类号 |
C30B29/22(2006.01)I;C30B13/00(2006.01)I;C01G15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/22(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯;张宁展 |
主权项 |
一种用于宽禁带半导体的氧化铝‑氧化镓混晶材料,其特征在于:其结构式为Ga<sub>2‑2x</sub>Al<sub>2x</sub>O<sub>3</sub>,其中氧化铝掺杂摩尔比x为0‑50%。 |
地址 |
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