发明名称 用于宽禁带半导体的氧化铝-氧化镓混晶材料
摘要 一种用于宽禁带半导体的氧化铝-氧化镓混晶材料,结构式为Ga<sub>2-2x</sub>Al<sub>2x</sub>O<sub>3</sub>,其中氧化铝掺杂摩尔比x为0-50%,及其制备方法。本发明保持了原有的氧化镓晶体结构,形成混晶,晶体具有很高的光学质量,无开裂,散射颗粒,气泡等缺陷,颜色均匀;通过掺杂,晶体的紫外吸收截止边延伸到210-255nm,是一种非常优良的深紫外衬底材料。
申请公布号 CN105239162A 申请公布日期 2016.01.13
申请号 CN201510524713.2 申请日期 2015.08.25
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 夏长泰;赛青林;肖海林
分类号 C30B29/22(2006.01)I;C30B13/00(2006.01)I;C01G15/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/22(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯;张宁展
主权项 一种用于宽禁带半导体的氧化铝‑氧化镓混晶材料,其特征在于:其结构式为Ga<sub>2‑2x</sub>Al<sub>2x</sub>O<sub>3</sub>,其中氧化铝掺杂摩尔比x为0‑50%。
地址 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
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