单晶炉用自控式加热系统

摘要

本发明公开了一种单晶炉用自控式加热系统，包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器，上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统，上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状，上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板，相邻的导热板之间有连接筋，上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间有间隙，上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚；采用了分段式组合石墨加热器，双电源系统，化料时双石墨加热器同时工作，大大缩短了熔硅时间，化料结束后降低下石墨加热器功率，以上石墨加热器为主石墨加热器进行生长，使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长，减小了传统热场顶部与底部的温差。

主权项

单晶炉用自控式加热系统，其特征在于：包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器，上石墨加热器、下石墨加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统，所述的上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状，上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板，相邻的导热板之间有连接筋，上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间具有间隙，且上石墨加热器大于下石墨加热器的竖向高度，所述的上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚；坩埚的上部、下部侧壁上分别设有温度传感器，温度传感器分别连接到单片机的输入端，单片机的输出端与上石墨加热器、下石墨加热器的电源系统相连接；所述的单片机外连接有对应的坩埚上部、下部的温度显示屏。