| 摘要 |
본 발명은 규소층(101)을 포함하는 기판(100)의 표면 위에 그래핀층(105)을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은 상기 규소층의 자유 표면 위에 탄화규소 막(103)을 형성하는 단계(1) 및 상기 탄화규소 막의 원자들의 적어도 제1 어레이의 상기 규소가 승화될 때까지 상기 기판을 점진적으로 가열하여, 상기 탄화규소 막 위에 그래핀층을 형성하는 단계를 차례로 포함한다. 본 발명에 따르면, 단차형인 자유 표면을 갖는 규소층이 사용된다. |
