用于扫描共焦电子显微镜的改进对比度

摘要

一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。

主权项

一种扫描共焦电子显微镜(SCEM)，包括：电子源，用于生成电子束；第一偏转器，用于使所述电子束跨越样品的一部分进行扫描；第一电子透镜，用于聚焦所述电子束以在所述样品处形成电子源的图像；检测器，用于检测已穿过所述样品的电子；第二电子透镜，用于聚焦来自所述样品的电子以在所述检测器处或附近形成图像；第二偏转器，用于使所述电子束进行退扫描并将所述电子束引导到所述检测器；以及图像校正器，用于校正退扫描图像。