一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置及其成膜方法

摘要

本发明公开了一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置，包括蒸发腔、与蒸发腔连通的喷印头及与喷印头相距一定间隙的基板载台，基板载台受控制相对喷印头分别沿喷印头主轴方向、与喷印头主轴垂直平面内的水平方向以及平面内与水平方向垂直的第三方向直线移动。喷印头包括喷印头基体、包覆喷印头基体的加热套、位于喷印头基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的混合腔以及连通所述蒸发腔与混合腔的气体入口。图形喷嘴的开口具有一定形状，蒸发腔用于蒸发固体有机材料得到气相有机材料并通过喷印头的气体入口进入喷印头的混合腔，接着通过图形喷嘴喷出到位于基板载台的基板上，以制备与图形喷嘴的开口形状相同的图形薄膜。

主权项

一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置，用于制备具有一定图形的有机薄膜，其包括蒸发腔、位于所述蒸发腔一端且与之连通的喷印头以及与喷印头相距一定间隙以用于承载基板的基板载台，其特征在于：所述蒸发腔用于蒸发固体有机材料得到气相有机材料；所述喷印头包括喷印头基体、包覆所述喷印头基体的加热套、位于所示喷印头基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的且位于所述喷印头基体中间位置的混合腔，其为一中空的腔体，以及位于所述喷印头基体另一端且开设于喷印头基体中的气体入口，其一端与所述混合腔连通，另一端与所述蒸发腔连通，以用于蒸发腔的气体通过该气体入口进入所述混合腔；所述图形喷嘴具有开口，开口横截面形状与所制备的有机薄膜的图形相同，混合腔中的气相有机材料通过所述图形喷嘴喷出到位于所述基板载台的基板上，即可制备图形与图形喷嘴的开口形状相同的薄膜。