管理装置、衬底处理系统、装置信息更新方法及存储介质

摘要

将与具有用于处理衬底的装置信息的衬底处理装置连接的管理装置构成为具有：设定部，设定所述装置信息中的成为所述装置信息的基准的基准装置信息；操作显示部，基于由所述设定部设定的所述基准装置信息，分别对提取从所述衬底处理装置获取的获取装置信息和所述基准装置信息之间的差异而得到的差异部和包含所述基准装置信息在内的所述装置信息的内容进行显示；和控制部，进行如下控制：当从所述操作显示部接收所述获取装置信息和所述基准装置信息之间的差异部的修正指示时，基于所述修正指示，修正所述获取装置信息并创建修正装置信息，并将该修正装置信息向所述衬底处理装置发送。

主权项

一种管理装置，其与衬底处理装置连接，所述衬底处理装置具有用于处理衬底的装置信息，所述管理装置特征在于，具有：设定部，其设定所述装置信息中的成为所述装置信息的基准的基准装置信息；操作显示部，其基于由所述设定部设定的所述基准装置信息，分别对提取从所述衬底处理装置获取的获取装置信息和所述基准装置信息之间的差异而得到的差异部、和包含所述基准装置信息在内的所述装置信息的内容进行显示，并进行所述差异部的修正指示；和控制部，其进行如下控制：当从所述操作显示部接收针对该差异部的修正指示时，基于所述修正指示，修正所述获取装置信息并创建修正装置信息，将该修正装置信息向所述衬底处理装置发送。