一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置

摘要

本实用新型涉及一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置，包括氩气瓶、石英水蒸汽发生器、石英管式炉、石英螺旋管、加热装置；在氩气瓶的出气管上安装有流量调节阀和压力阀，压力阀与第一流量计相连，第一流量计与三通管相连；三通管通过石英水蒸汽管与石英球头管相连，石英球头管与石英水蒸汽发生器活动连接，三通管的另一端通过石英氩气管与第二流量计的输入端相连；石英螺旋管放置在石英管式炉内，第二流量计的输出端与进气段相通；加热装置位于石英管式炉的外侧用于对石英管式炉进行加热，并在加热装置内设置有多个加热线圈；石英管式炉的一侧设置有出气管，且出气管的出气口向下。该反应炉装置耐高温、操作方便，制造成本低。

主权项

一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置，其特征在于：包括充满氩气的氩气瓶(1)、石英水蒸汽发生器(2)、石英管式炉(3)、石英螺旋管(4)、加热装置(5)；在氩气瓶(1)的出气管(10)上安装有流量调节阀(11)和压力阀(12)，所述压力阀(12)的一端与第一流量计(6)的进气端相连，所述第一流量计(6)的出气端与三通管(7)相连；所述三通管(7)的一端通过石英水蒸汽管(8)与石英球头管(9)相连，所述石英球头管(9)与所述石英水蒸汽发生器(2)活动连接，所述三通管(7)的另一端通过石英氩气管(13)与第二流量计(14)的输入端相连；所述石英螺旋管(4)放置在石英管式炉(3)内，所述石英螺旋管(4)包括螺旋段(41)、进气段(42)、盛料段(43)，所述进气段(42)和盛料段(43)分布在螺旋段(41)的两侧，且螺旋段(41)、进气段(42)和盛料段(43)均相通，在盛料段(43)内放置有试验样品(15)，试验样品(15)与热电偶(16)相连；所述第二流量计(14)的输出端与进气段(42)相通；所述加热装置(5)位于石英管式炉(3)的外侧用于对石英管式炉(3)进行加热，并在加热装置(5)内设置有多个加热线圈(50)；所述石英管式炉(3)的一侧设置有出气管(30)，且所述出气管(30)的出气口向下。