| 发明名称 |
スペクトル純度フィルタ、リソグラフィ装置およびスペクトル純度フィルタを製造する方法 |
| 摘要 |
<p>A transmissive spectral purity filter is configured to transmit extreme ultraviolet radiation. The spectral purity filter includes a filter part having a plurality of apertures configured to transmit extreme ultraviolet radiation and to suppress transmission of a second type of radiation. Each aperture has been manufactured by an anisotropic etching process.</p> |
| 申请公布号 |
JP5844154(B2) |
申请公布日期 |
2016.01.13 |
| 申请号 |
JP20110528205 |
申请日期 |
2009.08.26 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．;コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫＯＮＩＮＫＬＩＪＫＥ ＰＨＩＬＩＰＳ Ｎ．Ｖ． |
发明人 |
スール，ワウター アントン;ヤクニン，アンドレイ，ミクハイロヴィッチ;ヤク，マーティン，ヤコブス，ヨハン;マシュー，デニー;ケッテラレイ，ヘンドリック，ジャン;ヴァン デン ヒューヴェル，フレデリカス，クリスティアーン;カイパース，ペトルス，エリザベス，マリア |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K3/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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