| 主权项 |
一种六自由度主动隔振装置，其特征在于，该装置包括下平台(1)、上平台(4)和六条支腿(3)；六条支腿(3)分别通过固定块与上平台(4)及下平台(1)连接，构成史都华并联机构；在下平台(1)上的三个固定块的位置形成等边三角形，在上平台(4)上的三个固定块的位置也形成等边三角形，六条支腿(3)结构相同，相邻的两支腿互相垂直，六条支腿具有相同的支撑力；各支腿(3)均包括主动执行器和空气弹簧，主动执行器与具有单自由度导向机构的空气弹簧形成并联结构，其中具有单自由度导向机构的空气弹簧作为被动隔振部件，尽可能地布置于整个支腿空间中以扩大空气弹簧的体积，降低隔振装置的固有频率，以提供承载和低频被动隔振功能，使隔振装置能够在六个自由度上实现隔振和定位的功能；所述支腿(3)包括下柔性块(3.1)、空气弹簧壳体(3.2)、进气孔(3.3)、密封膜(3.4)、活塞体(3.5)、压环(3.6)、柔性圆片(3.7)、负载连接板(3.8)、非接触式位移传感器(3.9)、主动执行器、速度传感器(3.12)和上柔性块(3.13)；下柔性块(3.1)位于支腿下部，空气弹簧壳体(3.2)底部与下柔性块(3.1)连接，空气弹簧壳体(3.2)开有进气孔(3.3)；压环(3.6)将密封膜(3.4)压紧在空气弹簧壳体(3.2)上表面上，密封膜内圈与活塞体(3.5)连接；由空气弹簧壳体(3.2)、密封膜(3.4)、活塞体(3.5)、压环(3.6)及进气孔(3.3)共同构成一个空气弹簧；柔性圆片(3.7)外圆部分与压环(3.6)连接，其中心部分与活塞体(3.5)连接，活塞体(3.5)的运动方向只能为支腿的长度方向；负载连接板(3.8)下部与活塞体(3.5)上部连接，负载连接板(3.8)的上部与上柔性块(3.13)连接；非接触式位移传感器(3.9)固定于压环(3.6)上，检测负载连接板(3.8)的位移变化；速度传感器(3.12)固定于负载连接板(3.8)上；主动执行器两端分别与负载连接板(3.8)和压环(3.6)固定连接；主动执行器为由音圈电机定子(3.10)、音圈电机动子(3.11)组成的音圈电机；音圈电机定子(3.10)固定于压环(3.6)上，音圈电机动子(3.11)固定于负载连接板(3.8)上。 |
