用于溅射的分离靶装置及使用其的溅射方法

摘要

分离靶装置，包括底板和多个源单元，多个源单元包括多个分离靶和多个磁体，多个分离靶附着在底板的一个表面上且形成规则排列，多个磁体附着在底板的另一表面上且分别与多个分离靶成对。多个源单元以第一方向与第二方向之间的角度平行地排列，第一方向是规则排列的方向，第二方向与第一方向垂直。使用具有上述结构的分离靶装置进行溅射。

主权项

用于溅射的分离靶装置，包括：底板；以及多个源单元，包括多个分离靶和多个磁体，所述多个分离靶在第一方向上设置在所述底板的一侧上，所述多个磁体设置在所述底板的另一侧上且分别与所述多个分离靶成对；其中，所述多个源单元以所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向之间的角度倾斜排列，其中所述第二方向为所述分离靶装置与分离靶目标相对移动的方向。