电磁驱动微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

摘要

本发明公开了两种(基于刚性支撑底座与薄膜支撑底座)电磁驱动可调谐珐珀滤波器及其制作方法，该新型的滤波器结构采用磁粉填充的嵌入式薄膜制造技术，与其他硅微加工技术具有良好的工艺兼容性，避免传统贴片式薄膜工艺人工操作带来的操作误差，从而提高了器件的工作稳定性及加工成品率；同时，具有比静电驱动大的多、且工艺可调的空气间隙，能大幅度提高器件的可滤波长范围；再者，电磁驱动具有良好的线性响应特性，为后续驱动电路研制提供了极大便利，控制精度得到提高。本发明将促进MEMS微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用。

主权项

一种电磁驱动可调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括可动镜面支撑1、固定镜面支撑5、薄膜永磁片2、第一反射镜3、第二反射镜6、悬臂梁4、线圈基板8、环状通电线圈9；所述可动镜面支撑1的中间可动部分通过悬臂梁4悬置于外周固定部分；可动镜面支撑1的外周部分与固定镜面支撑5的外周部分之间通过第一锚点7键合；第一反射镜3和第二反射镜6分别在可动镜面支撑1中间可动部分与固定镜面支撑5内侧相对的相应位置放置，使得第一反射镜3与第二反射镜6之间形成光学谐振珐珀腔；可动镜面支撑1外周部分的另一侧通过第二锚点10与线圈基板8键合；可动镜面支撑1中间可动部分上与线圈基板8相对的一侧有环状的磁粉填充槽12，其内为薄膜永磁片2；线圈基板8上与薄膜永磁片2相对一侧布有环状通电线圈9；线圈基板8与第一反射镜3、第二反射镜6的位置相对应处开有通光孔11。