发明名称 |
一种金属等离子体源及其应用 |
摘要 |
本申请公开了一种金属等离子体源及其应用。本申请的金属等离子体源包括外壳、磁控靶和电子阻挡屏极,外壳呈中空的圆柱筒状,磁控靶铺设于外壳的中空的内腔中,且不与外壳导通,电子阻挡屏极由导电材料制备,同样设置于外壳的中空内腔中,并且电子阻挡屏极为片状,垂直安装于磁控靶的两端;电子阻挡屏极与磁控靶导通,或者电子阻挡屏极与磁控靶不导通,电子阻挡屏极单独连接负电压。本申请的金属等离子体源,在磁控靶两端增加电子阻挡屏极,将逃逸的电子反射回金属等离子体源内部,起到降低放电起辉条件目的;反射的电子增强了溅射粒子碰撞,增强其离化率,增加了靶材表面电子分布的均匀性,提高了靶材溅射均匀性,进而提高靶材利用率。 |
申请公布号 |
CN105239048A |
申请公布日期 |
2016.01.13 |
申请号 |
CN201510650195.9 |
申请日期 |
2015.10.09 |
申请人 |
北京大学深圳研究生院 |
发明人 |
吴忠振;肖舒;崔岁寒;马正永;林海;潘锋 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 |
代理人 |
郭燕;彭家恩 |
主权项 |
一种金属等离子体源,包括外壳(11)和磁控靶(12),所述外壳(11)呈中空的圆柱筒状,所述磁控靶(12)铺设于外壳(11)的中空的内腔中,且不与外壳(11)导通,其特征在于:还包括由导电材料制备的电子阻挡屏极(13),所述电子阻挡屏极(13)为片状,同样设置于外壳(11)的中空的内腔中,并且电子阻挡屏极(13)垂直安装于所述磁控靶(12)的两端;所述电子阻挡屏极(13)与所述磁控靶(12)导通,或者所述电子阻挡屏极(13)与所述磁控靶(12)不导通,电子阻挡屏极(13)单独连接负电压。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区 |