光谱显微镜装置

摘要

一种光谱显微镜装置包括：光谱检测单元，包含能够控制输出波长的光源、具有用从光源输出的光照射的观察区域的显微镜部分、以及检测来自观察区域的光作为光谱数据的信号检测器；被配置为移动观察区域的移动单元；以及执行控制操作以允许光谱检测单元和移动单元相互响应地移动的控制器。光谱显微镜装置被控制为使得在移动单元移动观察区域并且测量被执行的观察区域移动时间以及观察区域固定并且测量被执行的观察区域移动停止时间执行不同测量条件之间的切换。

主权项

一种光谱显微镜装置，其特征在于，包括：光谱检测单元，包含能够控制输出波长的光源、具有被从光源输出的光照射的观察区域的显微镜部分、以及检测来自观察区域的光作为光谱数据的信号检测器；移动单元，被配置为移动观察区域；和控制器，执行控制操作以允许光谱检测单元和移动单元相互响应地移动，其中，光谱显微镜装置被控制为使得，在观察区域移动时间以及在观察区域移动停止时间执行不同测量条件之间的切换，在所述观察区域移动时间中，移动单元移动观察区域并且测量被执行，在所述观察区域移动停止时间中，在观察区域固定并且测量被执行。