| 发明名称 | 印刷基板用作业装置 | ||
| 摘要 | 具备底座构件(3)和支撑于底座构件(3)的基板搬运路径(12)以及作业装置主体(13)。具备与底座构件(3)一起规定作业装置主体(13、74)进行作业的作业空间(6)的罩构件(5)和罩构件(5)的基板搬入口(15)以及基板搬出口(16)。具备设于底座构件(3)或者罩构件(5)的空气入口(52)、从空气入口(52)向作业空间(6)送入外部的空气而使作业空间的压力高于大气压的送风装置(8)以及过滤器(9)。空气入口(52)设在：底座构件(3)的从上方观察不与基板搬运路径(12)重叠的区域内、或者罩构件(5)的从上方观察不与基板搬运路径(12)重叠的区域中比基板搬运路径(12)高的区域内。能够使用将作业空间(6)加压为正压的送风装置(8)来实现灰尘的侵入防止，并且对作业空间(6)进行换气。能够不受风的影响而向印刷基板(11)准确地实施作业。 | ||
| 申请公布号 | CN105247656A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201380076859.4 | 申请日期 | 2013.05.24 |
| 申请人 | 雅马哈发动机株式会社 | 发明人 | 黒木俊明 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 穆德骏;谢丽娜 |
| 主权项 | 一种印刷基板用作业装置，其特征在于，具备：底座构件，在上端部形成有支撑面；基板搬运路径，支撑于所述底座构件，且搬运印刷基板；作业装置主体，支撑于所述底座构件，且对保持于所述基板搬运路径的印刷基板进行作业；罩构件，设在所述底座构件上，与所述底座构件一起规定所述作业装置主体进行作业的作业空间；基板搬入口，在所述罩构件的一侧部开口；基板搬出口，在所述罩构件的另一侧部开口；空气入口，设于所述底座构件或者罩构件；送风装置，从所述空气入口向所述作业空间送入外部的空气而使所述作业空间的压力高于大气压；及过滤器，设于所述送风装置，所述空气入口设在：所述底座构件的从上方观察不与所述基板搬运路径重叠的区域内、或者所述罩构件的从上方观察不与所述基板搬运路径重叠的区域中比所述基板搬运路径高的区域内。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||