分形边缘薄膜及其制造方法

摘要

一种分形边缘薄膜，其包含材料层且所述材料层的周缘的分形维数超过一，与分形维数等于一的薄膜材料层相比，所述材料薄膜具有较大的抗剥离性。制造分形边缘薄膜的一种方法，包括决定可被所述分形边缘薄膜覆盖的区域形状。所述方法亦包括依据区域形状产生薄膜周缘，所述薄膜周缘的分形维数超过一。所述方法也包括决定光罩周缘，当使用于光刻程序时，使得具有所述光罩周缘的光罩生产出具有所述薄膜周缘的分形边缘薄膜。所述方法也可包括光蚀刻薄膜，所述薄膜上设有光阻层，所述光阻层已先经过光罩曝光，于所述蚀刻中产生所述分形边缘薄膜。

主权项

一种分形边缘薄膜，其包括：材料层，其具有分形维数超过一的周缘，且与分形维数等于一的薄膜材料层相比，所述材料层具有较大的抗剥离性。