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经营范围
发明名称
シリコン単結晶中の窒素濃度評価方法
摘要
申请公布号
JP5842765(B2)
申请公布日期
2016.01.13
申请号
JP20120177667
申请日期
2012.08.10
申请人
信越半導体株式会社
发明人
鎌田 洋之;星 亮二
分类号
G01N21/3563;C30B29/06
主分类号
G01N21/3563
代理机构
代理人
主权项
地址
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