| 发明名称 | 校准MOCVD设备设定温度的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种校准MOCVD设备设定温度的方法。本发明校准MOCVD设备设定温度的方法，包括：根据设定温度漂移模型，计算所述金属有机化合物化学气相沉积MOCVD设备中加热器的加热温度对应的初始的设定温度值；将所述加热器的加热温度设定为所述设定温度值，当所述加热器加热达到所述设定温度值时，获取所述加热器的电流；根据所述电流和所述设定温度值对应的预设电流，通过估值验证法确定所述加热温度对应的实际设定温度值。本发明流程简单，成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN105239058A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201510623055.2 | 申请日期 | 2015.09.25 |
| 申请人 | 圆融光电科技股份有限公司 | 发明人 | 焦建军;黄小辉;陈向东;康建;梁旭东 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 宋扬;黄健 |
| 主权项 | 一种校准MOCVD设备设定温度的方法，其特征在于，包括：根据设定温度漂移模型，计算所述金属有机化合物化学气相沉积MOCVD设备中加热器的加热温度对应的初始的设定温度值；将所述加热器的加热温度设定为所述设定温度值，当所述加热器加热达到所述设定温度值时，获取所述加热器的电流；根据所述电流和所述设定温度值对应的预设电流，通过估值验证法确定所述加热温度对应的实际设定温度值。 | ||
| 地址 | 243000 安徽省马鞍山市经济技术开发区宝庆路399号1栋 | ||