一种带静电液雾清洗装置和清洗方法

摘要

本发明公开了一种带静电液雾清洗装置和清洗方法，在清洗装置的本体内设有一液体流道，环绕液体流道设有气体缓冲腔，液体流道连通本体下端面设有的液体出口，气体缓冲腔连通本体下端面环绕液体出口密布设置的多数个气体出口，液体流道、气体缓冲腔各自连通本体上设有的液体进口、气体进口，可通过液体进口通入清洗液体，经液体流道从液体出口喷出，形成雾化液滴，同时通过气体进口通入带电离子风，经气体缓冲腔从气体出口喷出，与雾化液滴接触使其带电，从而可以对其下方晶圆进行冲洗并去除晶圆表面的静电。

主权项

一种带静电液雾清洗装置，其特征在于，包括一本体，所述本体内设有一液体流道，环绕液体流道设有气体缓冲腔，所述液体流道连通本体下端面设有的液体出口，所述气体缓冲腔连通本体下端面环绕液体出口密布设置的多数个气体出口，所述液体流道、气体缓冲腔各自连通本体上设有的液体进口、气体进口；其中，通过由液体进口通入清洗液体，经液体流道从液体出口喷出，形成雾化液滴，由气体进口通入带电离子风，经气体缓冲腔从气体出口喷出，接触使雾化液滴带电，以对其下方晶圆进行冲洗及去除晶圆表面的静电。