一种RENA制绒槽进液装置

摘要

本实用新型公开了一种RENA制绒槽进液装置，在制绒槽底部设有顺流分流管组和逆流分流管组，顺流分流管组包括至少两根顺流分流管，逆流分流管组包括至少两根逆流分流管，顺流分流管内液体的流向与硅片传动的方向一致，逆流分流管内液体的流向与硅片传动的方向相反，顺流分流管和逆流分流管均沿其长度方向上分布有斜向其流向方向的出液口。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在制绒槽中设顺流分流管组和逆流分流管组，用于分流，改变了药液进入制绒槽内的方式，且使制绒槽中的药液形成一个循环流，使制绒槽内各处药液的浓度、温度保持一致，减少制绒后硅片减重上的差异，提高了均匀性。

主权项

一种RENA制绒槽进液装置，其特征在于：在制绒槽底部设有顺流分流管组和逆流分流管组，顺流分流管组包括至少两根顺流分流管，逆流分流管组包括至少两根逆流分流管，顺流分流管内液体的流向与硅片传动的方向一致，逆流分流管内液体的流向与硅片传动的方向相反，顺流分流管和逆流分流管均沿其长度方向上分布有斜向其流向方向的出液口，制绒槽长度方向的两端分别设有溢流孔，位于顺流分流管组流向前方的溢流孔与逆向溢液收集箱相连，位于逆流分流管组流向前方的溢流孔与顺向溢液收集箱相连，逆向溢液收集箱通过循环泵和逆向分配管将其内液体泵入逆流分流管组，顺向溢液收集箱通过循环泵和顺向分配管将其内液体泵入顺流分流管组。