发明名称 電解銅めっき液及び電解銅めっき方法
摘要 <p>A copper electroplating solution which contains ninhydrin and specific compounds containing sulfur atoms, with the structure -X-S-Y wherein X and Y are, independently atoms selected from a group consisting of hydrogen, carbon, sulfur, nitrogen, and oxygen, and X and Y can be the same only if they are carbon atoms and ninhydrin. By using this copper electroplating solution, it is possible to form good filled vias without worsening the appearance of the plating.</p>
申请公布号 JP5843606(B2) 申请公布日期 2016.01.13
申请号 JP20110284647 申请日期 2011.12.27
申请人 ローム・アンド・ハース電子材料株式会社 发明人 齊藤 睦子;酒井 誠;森永 俊幸;林 慎二朗
分类号 C25D3/38;C25D7/00;H05K3/18 主分类号 C25D3/38
代理机构 代理人
主权项
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