发明名称 一种氧化物阴极
摘要 本发明提供了一种氧化物阴极,具体包括以下步骤:制作阴极基金属在发射层周边表面预留几何余量;用模制法将镍粉灌注在阴极底金属上同模具整体置于氢炉中烧结镍海绵层,制成的镍海绵层留有一定几何余量,然后在镍海绵层内填充碱土金属碳酸盐,机械压制阴极发射层的发射面,去除剩余的几何余量;装管前对氧化物阴极进行预分解:将氧化物阴极夹持在车床卡盘上,车制发射层及周边表面,去除剩余的几何余量,然后拭尽阴极表面粘附微粒。本发明的阴极表面变得平整规则、光洁干净,减小了热粒子发射角,限制了发射电子密度分布的变形,提高了阴极抗粒子轰击能力,减小了阴极发射面打火几率,提高阴极工作稳定度及寿命。
申请公布号 CN105244244A 申请公布日期 2016.01.13
申请号 CN201510668734.1 申请日期 2015.10.13
申请人 甘肃虹光电子有限责任公司 发明人 何擎
分类号 H01J1/14(2006.01)I;H01J1/20(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I 主分类号 H01J1/14(2006.01)I
代理机构 甘肃省知识产权事务中心 62100 代理人 鲜林
主权项 种氧化物阴极,其特征在于:具体包括以下步骤制备而成:A. 制作阴极基金属:制作阴极基金属时在发射层周边表面预留0.1~0.15mm的几何余量;B. 制作发射层:用模制法将平均粒度为20~60μm的镍粉灌注在步骤A制备的阴极基金属上同模具整体置于氢炉中烧结镍海绵层,制成的镍海绵层留有0.3~0.4mm的几何余量,镍海绵层孔度为45%~50%,冷却、脱模,然后在镍海绵层内填充碱土金属碳酸盐,直到碱土金属碳酸盐不再渗入镍海绵层停止填充形成阴极发射层;C. 机械压制发射层:机械压制步骤B制成的阴极发射层的发射面,去除0.2~0.25mm的几何余量;D. 装管前对阴极进行预分解:将阴极置于氢炉中,在1050±20℃的温度下保温5~8min,氢气流量≥0.4L/min,露点≤‑65℃,冷却后取出;E. 车床车制:将步骤D得到的阴极夹持在车床卡盘上,车床卡盘跳动量≤0.02mm,车制发射层及周边表面,去除剩余的几何余量,然后拭尽阴极表面粘附微粒。
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