刀体冷却装置及空气静压电主轴

摘要

本发明公开了一种刀体冷却装置及空气静压电主轴，其中，该刀体冷却装置包括第一进液管、主支座以及至少一个喷管；其中，主支座固定在空气静压电主轴的壳体的外壁，第一进液管和喷管均连接至主支座，第一进液管通过主支座内部形成的通道与喷管连通，喷管向空气静压电主轴的刀体延伸，并且，喷管朝向刀体的位置处设置有至少一个冷却液出口，第一进液管用于将冷却液输入到喷管，喷管用于通过冷却液出口将来自第一进液管的冷却液喷射至刀体。本发明能够在切割机划切晶圆时对刀体进行高效冷却，延长了刀体的使用寿命，保证了加工的质量，节省了生产成本。

主权项

一种刀体冷却装置，所述冷却装置包括第一进液管、主支座以及至少一个喷管；其中，所述主支座固定在空气静压电主轴的壳体的外壁，所述喷管向所述空气静压电主轴的刀体延伸，并且，所述喷管朝向所述刀体的位置处设置有至少一个冷却液出口，所述第一进液管用于将冷却液输入到所述喷管，所述喷管用于通过所述冷却液出口将来自所述第一进液管的冷却液喷射至所述刀体；所述主支座包括第一支座和第二支座，所述至少一个喷管包括第一喷管和第二喷管，其中，所述第一支座与所述第二支座沿着所述空气静压电主轴中主轴的轴向排列，且所述第一支座和所述第二支座通过螺钉固定；所述第一喷管设置在所述刀体切割平面的一侧，所述第二喷管设置在所述刀体切割平面的另一侧，并且在朝向所述刀体的位置处均分别设置有至少一个冷却液出口；其特征在于，所述第一进液管和所述喷管均连接至所述主支座，所述第一进液管通过所述主支座内部形成的通道与所述喷管连通，所述刀体冷却装置进一步包括引流管，所述第一喷管和所述第一支座连接，所述第一进液管和所述第二喷管连接至所述第二支座，所述第二喷管通过所述第二支座内形成的通道和所述第一进液管连通，并且，所述引流管用于将所述第一支座内的通道和所述第二支座内的通道连通，所述第一喷管通过所述第一支座内形成的通道和所述引流管连通；所述第一支座、第二支座和引流管联接处设置有密封圈；所述第一喷管和第二喷管设置有多个彼此相对的冷却液出口，并且，冷却液出口上下位置可以调节；进一步包括第三支座、第二进液管和第三喷管，所述第三支座通过螺钉与所述主支座固定，所述第二进液管与所述第三支座连接，所述第三喷管的一端与所述第三支座连通，所述第三喷管的另一端朝向所述刀体延伸并对准所述刀体的刀刃，且该端设置有冷却液出口，所述第三喷管通过所述第三支座内形成的通道和所述第二进液管连通，并且所述第三喷管用于将来自所述第二进液管的冷却液喷射至所述刀体的刀刃；进一步包括连杆、调节螺钉、内管和外管，其中，所述调节螺钉将所述连杆与所述第三支座内形成的通道连通，并且，所述调节螺钉用于调节所述连杆与所述第三支座内通道之间的角度；所述外管为环形管，与所述内管连通；所述内管以过盈的方式固定在所述连杆上，并与所述连杆连通；所述第三喷管与所述外管连通；所述引流管和调节螺钉的内部均形成有“L”形通道，两段通道彼此连通。