具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光方法

摘要

本发明提供一种具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光方法，解决了在实际曝光过程中的拼接撕裂问题，从而提高了激光直写成像设备的图形质量，降低了激光直写成像设备对精密运动平台性能的依赖。所述方法包括：测量精密运动平台步进轴的Yaw值曲线；通过查Yaw值曲线获取第一个条带的曝光起始点的Yaw值；通过查Yaw值曲线获取第N个条带的曝光起始点的Yaw值；使用Yaw值之差作为条带N在扫描曝光时的扫描修正角；对扫描结束点的坐标进行修正，控制精密运动平台以失量运动的方式从条带曝光起始点扫描到条带曝光结束点；重新计算下一个条带的曝光起始点，然后控制精密运动平台移动到下一个条带的曝光起始点；重复上述步骤，直到完成整个基底的曝光。

主权项

一种具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光方法，所述激光直写成像设备包括精密运动平台，其特征在于，所述扫描曝光方法包括如下步骤：1)测量精密运动平台步进轴的坐标与Yaw值对应关系曲线，并将该曲线存储到激光直写成像设备的曝光软件中；2)设第一个条带的曝光起始点步进轴坐标为x₀，扫描轴坐标为y₀，通过查Yaw值曲线获取x₀点的Yaw值为α₀，单位为弧度；3)设第N个条带的曝光起始点步进轴坐标为x_n，扫描轴坐标为y_n，条带结束点理论坐标为(x_n，y_n1)，通过查Yaw值曲线获取x_n点的Yaw值为α_n，单位为弧度；4)使用第N个条带相对于第一个条带的步进轴Yaw值之差作为条带N在扫描曝光时需要修正的扫描修正角α，其值为α＝α_n‑α₀；5)根据步骤4)计算出来的扫描修正角α，对扫描结束点的坐标进行如下修正：x_n2＝x_n‑(y_n1‑y_n)*sin(α)y_n2＝y_n+(y_n1‑y_n)*cos(α)6)控制精密运动平台以失量运动的方式从条带曝光起始点(x_n，y_n)扫描到条带曝光结束点(x_n2，y_n2)；7)根据每个条带的实际宽度和高度，重新计算下一个条带的曝光起始点(x_(n+1)，y_(n+1))，然后控制精密运动平台移动到下一个条带的曝光起始点；8)重复步骤3)至7)，直到完成整个基底的曝光。