| 发明名称 | 抗等离子体腐蚀的稀土氧化物基薄膜涂层 | ||
| 摘要 | 制品包含主体和至少一个保护层，所述保护层位于所述主体的至少一个表面上。所述至少一个保护层是具有小于约20微米的厚度、并包含陶瓷的薄膜，所述陶瓷选自由以下各项组成的组：Y<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>、Y<sub>4</sub>Al<sub>2</sub>O<sub>9</sub>、Er<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Gd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Er<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>、Gd<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>以及含Y<sub>4</sub>Al<sub>2</sub>O<sub>9</sub>与Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-ZrO<sub>2</sub>固体溶液的陶瓷化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN105247662A | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201480030094.5 | 申请日期 | 2014.06.19 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | J·Y·孙;B·P·卡农戈;V·菲鲁兹多尔;T·赵 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种制品，包含：主体；以及第一保护层，所述第一保护层位于所述主体的至少一个表面上，其中，所述第一保护层是具有小于约20微米的厚度、并且包含第一陶瓷的薄膜，所述第一陶瓷选自由以下各项组成的组：Y<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>、Y<sub>4</sub>Al<sub>2</sub>O<sub>9</sub>、Er<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Gd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Er<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>、Gd<sub>3</sub>Al<sub>5</sub>O<sub>12</sub>以及含Y<sub>4</sub>Al<sub>2</sub>O<sub>9</sub>与Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>‑ZrO<sub>2</sub>固体溶液的陶瓷化合物。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||