单芯片三轴各向异性磁阻传感器

摘要

本实用新型提供了一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器，在衬底中形成具有倾斜侧壁的凹槽，并在所述凹槽的侧壁上形成Z轴磁阻条和Z轴短路电极，在所述衬底的平面上形成X、Y轴磁阻条和X、Y轴短路电极，如此将X、Y、Z轴磁感测元件集成在一个芯片上，结构简单，Z轴磁感测元件无需垂直封装，易于制造，成本较低，并且和传统的微电子工艺兼容性好，适合大批量工业化生产，具有广泛的应用性。

主权项

一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器，其特征在于，包括：衬底，包括X轴区域、Y轴区域、Z轴区域；凹槽，形成于所述Z轴区域上，所述凹槽具有倾斜的侧壁；绝缘层，形成于所述衬底及所述凹槽上；磁阻条，包括形成于所述X轴区域上的X轴磁阻条、形成于所述Y轴区域上的Y轴磁阻条、以及形成于所述凹槽至少一个侧壁上的Z轴磁阻条；短路电极，包括形成于所述X轴磁阻条上并与其交叉的X轴短路电极、形成于所述Y轴磁阻条上并与其交叉的Y轴短路电极、以及形成于所述Z轴磁阻条上并与其交叉的Z轴短路电极；金属连线，包括连接相邻的X轴磁阻条的X轴金属连线、连接相邻的Y轴磁阻条的Y轴金属连线以及连接相邻的Z轴磁阻条的Z轴金属连线；隔离层，形成于所述短路电极、金属连线以及绝缘层上，所述隔离层中形成有通孔；置位‑复位电流带，形成于所述隔离层上并垂直于所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条，所述置位‑复位电流带通过所述通孔与所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条电连接；以及钝化层，形成于所述隔离层上，所述钝化层中形成有暴露所述置位‑复位电流带的压焊窗口。