原料供給方法および原料供給装置

摘要

タンクを準備する工程と、容器を準備する工程と、前記タンク内に液体原料を供給する工程と、前記液体原料を加熱して第１の圧力を有する原料蒸気を得る工程と、前記容器内の圧力を前記第１の圧力よりも低い第２の圧力に調整する工程と、前記第１の圧力と前記第２の圧力の圧力差を利用して、接続部材を介して前記タンク内の前記原料蒸気を前記容器に供給する工程と、を有する原料供給方法。