| 摘要 |
Ｑ値が高く、共振周波数以下の周波数域におけるスプリアスを抑圧し得るバルク波共振子を提供する。基板２上に、基板２の上面から音響的に分離されている部分を有するようにスカンジウム含有窒化アルミニウム膜３が積層されており、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３の一方面に第１の電極４が、他方面に第２の電極５が形成されており、第１の電極４に対し、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３を介して第２の電極５が重なり合って圧電振動部が構成されており、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３におけるＳｃとＡｌの合計を１００原子％としたときに、スカンジウム含有濃度が５原子％以上、４３原子％以下の範囲にある、バルク波共振子１。 |
